美國(guo)ZYGO白光干涉儀
引入美國ZYGO白光(guang)干涉儀,用于3D形貌定量測試和精(jing)密機械表面(mian)粗糙度檢測的理想非接(jie)觸(chu)式檢測工具,
為工業化的設(she)計提供快速,精確的測量方案。